国产激情久久久久影院小草_国产91高跟丝袜_99精品视频99_三级真人片在线观看

懸臂接觸式RF MEMS開關(guān)的設(shè)計(jì)

時(shí)間:2024-05-07 04:45:38 通信工程畢業(yè)論文 我要投稿
  • 相關(guān)推薦

懸臂接觸式RF MEMS開關(guān)的設(shè)計(jì)

全部作者: 張義愷 第1作者單位: 北京郵電大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院 論文摘要: 本文研究的金屬接觸型RF MEMS開關(guān)由懸臂梁,驅(qū)動(dòng)電極,金屬觸點(diǎn)等部分構(gòu)成;谖⒉、材料和機(jī)械設(shè)計(jì)因素的考慮,本次設(shè)計(jì)選取了氮化硅作為懸臂梁的材料,以保證有材料具有良好的機(jī)械特性和化學(xué)穩(wěn)定性。并選擇金作為接觸金屬,是由于金在穩(wěn)定性和導(dǎo)電性方面的優(yōu)勢。懸臂梁為PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亞胺作為犧牲層,運(yùn)用等離子體刻蝕法釋放犧牲層。研究了懸梁、電極的制作工藝,并分析了犧牲層的制作和刻蝕工藝對開關(guān)結(jié)構(gòu)的影響,并對開關(guān)進(jìn)行失效分析。 關(guān)鍵詞: 微機(jī)電系統(tǒng),射頻開關(guān),值電壓,失效 (瀏覽全文) 發(fā)表日期: 2007年07月23日 同行評(píng)議:

作者應(yīng)當(dāng)通過實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證其設(shè)計(jì)的正確性,可是其并未做實(shí)驗(yàn),沒有在實(shí)驗(yàn)中修正其設(shè)計(jì),理論分析不準(zhǔn)確. 

綜合評(píng)價(jià): 修改稿: 注:同行評(píng)議是由特聘的同行專家給出的評(píng)審意見,綜合評(píng)價(jià)是綜合專家對論文各要素的評(píng)議得出的數(shù)值,以1至5顆星顯示。

【懸臂接觸式RF MEMS開關(guān)的設(shè)計(jì)】相關(guān)文章:

用于非接觸式IC卡的高頻接口模塊設(shè)計(jì)03-18

非接觸式IC卡節(jié)水控制器的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)03-07

微波寬帶PIN開關(guān)設(shè)計(jì)03-07

非接觸式松耦合感應(yīng)電能傳輸系統(tǒng)原理分析與設(shè)計(jì)03-18

一款開關(guān)同步檢波電路的設(shè)計(jì)03-07

淺談自動(dòng)轉(zhuǎn)換開關(guān)電器的設(shè)計(jì)應(yīng)用03-18

非接觸式e5551讀寫器的開發(fā)03-18

接觸式IC卡接口原理與不同實(shí)現(xiàn)方式對比03-18

談MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的管理技術(shù)03-19